电涡流传感器通过向外发射高频的变化的电磁场，对周围的目标引起电涡流。电涡流的大小与传感器和目标物体之间的距离有关，电涡流产生的磁场与传感器的磁场方向相反。两个磁场相互叠加，就会减少传感器的电感和阻抗。采用适当的电路把阻抗的变化转换成电压的变化，就能计算出目标物体的距离。
电涡流传感器尺寸较小，可靠性较高，价格也较便宜，不但可以作为接近觉传感器，检测障碍物的存在和物体距离，而且可以采用适当的方法检测力、力矩或压力。测量精度比较高，能够检测0.02mm的微量位移，测量还具有方向性。但是，这种传感器的缺点是作用距离较短（一般不超过13mm）。另外，此传感器仅适用于障碍物为固态导体的检测。