要了解真空泵卡死的原因，我们首先要了解真空泵的结构，真空泵是由真空泵泵体（缸体，转子），油箱，油管，联轴器，电机（马达）等部分组成。我们经常提到的旋片式真空泵，有油式真空泵，无油真空泵两种。
油式真空泵是用真空泵油来润滑的，真空泵油在旋片式真空泵里面不仅起润滑作用，还起到密封作用，真空泵的压力和流量都是要靠真空泵油的正常运转来保证的。真空泵油在运转时，通过真空泵油管把油箱里面的真空泵油带到泵体，在泵体里面运转后再通过回油管回流到油箱里面，因为真空泵运转时温度会达到70-105度，部分真空泵油会变成油气，随着尾气排到排气口，通过没有失效的油雾分离器（排气过滤器）过来下来，又回流到真空泵油箱里。要保证真空泵不因缺油而卡死，我们就要保证真空泵油油量要足，管道通畅，真空泵油不乳化，不产生淤泥能够在真空泵里面流动。
我们又要怎样预防真空泵因缺油而卡死：
1、定期更换真空泵油，根据行业不同，真空泵油的质量不同，而制定不同的更换周期，一般来说700---3000小时更换一次，同时还要更换大路通真空泵油过滤器，注意，每次更换真空泵油要彻底把真空泵油更换掉，不要只是添加。
2、定期清洗真空泵油管。
3、定期更换真空泵油雾分离器，俗称的排气过滤器，防止真空泵油随着尾气排出真空泵，造成真空泵油的减少。