精细光学真空镀膜机有哪些养护方面的办法？今天我们大路通的工程师来给大家分享以下内容，希望对大家有用！
光学真空镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜（操控电柜、电子枪电枢）构成，其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装修、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在避免油污染和缩短工作周期等方面具有杰出的功能。
光学真空镀膜机工作原理是在高真空状态下、使用电子束对金属或非金属资料加热到恰当的温度，资料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片间隔大，蒸发出来的蒸汽分子向四处直射，碰到基片就沉积在基片表面构成腊层。
精细光学真空镀膜机有哪些养护方面的办法，在下面的内容中我们就来了解。
1定时替换扩散泵油
真空镀膜机扩散泵油使用一段时间，约二个月两班，因在长时间高温环境，尽管较高真空时才发动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反响，扩散泵油在高温下也会发生裂解，使其质量降低，而延伸抽气时间。在我们以为时间延伸得太多时，应予替换。
2更换真空泵油
空镀膜机机械泵油在使用二个月后，油质会发生变化。油也许会抽入水分、杂质及其它缘由，而使用油粘性变差，真空降低，故需求替换。如为新设备，在使用头半个月即应替换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加重磨损。
3清洗卫生
定时将真空镀膜设备及其周围环境卫生搞好，常坚持设备表里清洗，将真空镀膜设备周围环境收拾有条，有一个好的工作环境，以保安全。
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