半导体特性图示仪比对方法
1.范围
本方法规定了非关键工艺中半导体特性图示仪的比对
2.定义
2.1偏差：标准单位与其被比对单位之差。
2.2相对误差：测量误差除以被测量的真值。
3．一般要求
3.1用途：保证非关键工艺中使用的半导体特性图示仪的准确度。
3.2原理：通过校准被比对图示仪的电源电压以保证图示仪的稳压特性在规定指标范围内，通过标准图示仪测得电阻值与被测图示仪测得电阻值相比较得出相对误差值。
3.3技术要求
3.3.1外观及附件
整机无机械损伤，调节旋纽应转动平稳灵活，作用可靠，所带附件齐全。
3.3.2技术指标
电源电压±1%电阻值相对误差±5%
3.4校准条件
3.4.1环境条件
a)温度（20±5）℃
b)湿度≤75%
c)工作电压220V±10%频率50Hz
d)工作现场无腐蚀性或易燃易爆气体。无影响正常工作的机械振动及电磁干扰。
3.4.2比对用标准
XJ4810A型半导体管特性图示仪精度±3%
数字万用表VC9801A型精度±（0.5%＋3d）
所用标准必须经国家计量检定机构检定，并在合格有效期内。
4．详细要求
4.1比对项目
a)外观
b)电压值，电阻值.
4.2比对方法
4.2.1外观检查
a)被比对半导体管特性图示仪应有厂名，出厂编号等明显标志。
b)被比对半导体管特性图示仪应无明显的机械损伤，各调节旋纽应转动平稳灵活，作用可靠。
4.2.2比对框图
QT2型晶体管特性图示仪
XJ4810A型半导体管特性图示仪
4.2.3比对方法
a)用VC9801A型数字万用表测量电源电压，对于QT2型晶体管特性图示仪校准
＋100V，－100V，＋250V，＋12V，－12V对于XJ4810A型半导体管特性图示
仪校准＋100V，－100V误差均不得超过±1％，如果电源电压超差按下图调整。
仪器名称型号电压值调节电位器备注
半导体特性图示仪XJ4810A＋100V12R30
－100V12R31
晶体管特性图示仪QT2＋100VW9-2
－100VW9-3
＋250VW9-4
＋12VW10-1
－12VW10-2
b)用标准半导体特性图示仪测试10k，100K，1MΩ，三个电阻值通过标准半导特性图示仪上的曲线得到三个电阻值并记录。
C）在被检的图示仪上也按照b)的方法测试三个同样的电阻，得到三个电阻值并记录。
d)将标准半导体特性图示仪测得电阻值与被检半导体特性图示仪测得电阻值相比
较，误差不得超过±5％。
5．检定结果的处理和检定周期
1.经比对电源电压在±1％以内，电阻值在±5％以内的图示仪为合格。贴C类
合格证，不合格贴停用证。
2.检定周期为一年。