精度是根本，高精度SMU的输出和测量精度指标通常是有很多限制条件的，比如温度范围、保证时限等。保证精度的温度范围越宽，保证时限越长，实际测试过程中的精度才越有保障。
横河GS200系列SMU的最高精度可达读数的0.001%；
在23±5℃的温度范围时，一年的保证精度也可以达到读数的±0.016%；
在23±5℃温度范围以外时，温度系数高达±0.0008%/℃。