稳定性是指SMU在进行长时间连续测量时，精度的变化情况。影响稳定性的因素有很多，如源表元器件的质量、零部件的磨损老化、以及使用或贮存不当等。另外，SMU的实际应用场景通常会连续测量较长时间，比如在生产线上使用时，需要连续测量24小时以上。长时间的输出和测量，会在SMU的机箱内产生并积累热量，如果散热处理不当也会对输出和测量的精度带来较大的影响。