维氏硬度试验法为英国的R.Smith和G..Sandland在1925年所发表，于1930年始发现其有利于测试氮化钢的表面硬化层之硬度，因此才渐渐广泛使用于工业界。此法包括布氏及洛氏试验之特征，安装有计测显微镜，量取压痕对角线长度，可测至1μm，准时又方便。
表示硬度时，把硬度记号HV。
维氏实验步骤：
将硬度计调整至准备状态。
徐徐旋转手轮上升砧座，直至试验面与压痕器之间维持在0.1～0.3mm程度为止。
转动记测显微镜，使物镜对正试片中心位置。
调整目镜中之基准线，使计测显微镜的目镜对准试验面的焦点。试验面的中心位置需离已有的压痕中心4d以上，而离试片边缘2.5d以上。
再度将压痕器转动正于试片中心位置。
按下启动杆由于凸轮及重锤之作用而产生压痕。
旋转手轮降下砧座转动计测显微镜至试片时，由目镜观察试片压痕轮廓，并以砧座之升降，调整教具使压痕清晰。
测定对角线长度，再于90度方向测定另一长度。
求两者平均值。查表得硬度值。