通常把离子束斑大于10μm以上的，称为非成像宏观探针（nonimagingmacroprobes)；把离子束斑小于10nm的称为离子微探针（microprobes）。
就成像技术而言，可分为扫描型离子微探针（scanningionmicroprobes)和摄像型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小，（φ≤1μm），并在样品上扫描，类似于扫描电镜（SEM）和扫描俄歇微探针（SAM），也叫离子微探针。后者是一次离子束斑较大（φ～300μm)，并静止不动，而二次离子光学（secondaryionoptics）扫描成像，也叫离子显微镜（ionmicroscope），空间分辨率～0.2μm。
在离子探针迅速发展中，要说明或列出所有不同的仪器是不可能的。概括地说，可以分为以下几类。
1非成像离子探针
2离子显微镜
3扫描离子微探针
4图像解剖离子探针（imagedissectingionprobes）
应用
像离子探针适用于许多不同类型的样品。下面给出一些代表性例子。
（1）金属样品
这是理想的样品，不会荷电。首先可用SEM直接找出感兴趣的分析区。使用剖面样品和使用扫描离子探针，沿剖面线扫描的方法是一种有用的技术，可作为动态SIMS的补充。可用于金属氧化物成长、腐蚀、焊接、应力失效断裂和晶粒间界偏析等方面的研究。
（2）半导体器件
检测掺杂分布剖面和层形结构。随着超大规模集成电路的发展，扫描离子探针分析越来越重要。
（3）非导体样品
高聚物和玻璃产品是典型绝缘样品。为子解决荷电问题，已开发出了微聚焦扫描原子束，可以对绝缘样品产生高质量的离子像。但当横向分辨率需优于5μm时，上述源就不能满足要求了。此时仍需用聚焦微离子束。这方面己成功地得到了家蝇复眼的离子像。应用的另一个领域是复合材料，尤其是研究这类材料破裂界面的情况。