尘埃粒子测定仪
流量计在2.83L指示下进行测量。
洁净度等级尘埃粒子数/m2
≥0.5µm≥5µm
ISOClass5（100级）≤3520≤29
ISOClass6（1000级）≤35200≤293
ISOClass7（10000级）≤352000≤2930
ISOClass8（100000级）≤3520000≤29300
300000级≤10560000≤87900
ISOClass9（1000000级）≤35200000≤293000
含尘浓度值＜3.5×104CNT/L