ATR是使用经一次或多次的内反射后结果而形成的衰减波evanescentwave，当衰减波射在样品成份会被吸收，造成反射光能量的损失，这与物质的光谱会回归到光谱检测器上。这衰减波的穿透深度不大，约0.5-2.0mm。被测样品的折射率是影响光程的主要因素，结果与被用于吸光物质及在给定波长下非吸光的物质浓度有关。因此在ATR的光谱中也含有非吸光物质的信息,这也是ATR光谱区别于其它常规光谱的独特之处。
ATR可用作非破坏性及非接触式测量，除IR、NIR强穿透性外还可用于UV-VIS对粉质、溶液及固体测量。特别是应用于自动过程控制测量。
卡尔蔡司在这领域有着独特的供应及支援。
MCS600/CORONAPLUS可与配件ATRPROBE连接，轻易地执行衰减全反射光谱技术测量。