1：压痕对角线长度测量不精确引起的硬度测量误差
当压痕对角线长度测量大了，硬度测得值较硬度真值低;反之，当压痕对角线长度测量小了，硬度测得值较硬度真值高。压痕对角线越长，则硬度测量相对误差越小。因此当试验条件允许时，应尽量选用较大的试验力，以便能得到较大的压痕，减少硬度测量相对误差。
2：试验力偏离标准值引起的硬度测量误差
试验力较标准值偏大时，硬度测得值较硬度真值低;反之，试验力较标准值偏小时，硬度测得值较硬度真值高。
JJG151-1991《金属维氏硬度计检定规程》规定：维氏硬度计试验力允许误差为±1.0%。JJG260-1991《显微硬度计检定规程》规定：对于≤0.9807N的试验力允差为±2.0%，>0.9807N的试验力允差为±1.5%，≥1.961N的试验力允差为±1.0%。
3：试验力不垂直于试样表面引起的硬度测量误差
排除压头的因素，只要测量压痕两条对角线长度并取其平均值来计算硬度值，此种因素引起的硬度测量误差很微小。
4：试验力保持时间偏离标准值引起的硬度测量误差
随着试验力保持时间的增加，硬度值降低;当试验力保持一段时间后，硬度值变化趋缓。检定规程规定：试验力保持时间为10~15s。
5：试验力施加速度引起的硬度测量误差
随着试验力施加速度的增加，硬度值降低。JJG151-1991《金属维氏硬度计检定规程》规定：维氏硬度计施加试验力速度应为0.15~0.25mm/s或用压入时间表示应为2~5s。JJG260-1991《显微硬度计检定规程》规定：显微硬度计施加试验力速度应为0.02~0.07mm/s。
6：金刚石压头两相对面夹角偏离标准值引起的硬度测量误差
夹角α偏大，硬度测得值较硬度真值偏低。JJG334-1993《金刚石压头检定规程》规定：金刚石棱锥体相对两棱面夹角，维氏压头应为136±0.5°;小负荷和显微维氏压头应为136±0.25°。
7：压头横刃引起的硬度测量误差
由于压头有横刃，压痕变成长方形，使测得的压痕对角线长度增加，硬度值降低，带来负的硬度测量误差。在显微硬度试验范围内，压头横刃的影响非常大。
JJG334-1993《金刚石压头检定规程》规定：金刚石棱锥体压头顶端横刃长度，维氏压头应不大于2um;小负荷和显微维氏压头应不大于1um。