1、问：测量到最小尺寸能否达到12ΜM，或者能够测到更小尺寸？
答：可以，垂直分辨率是0.1nm，XY分辨率依物镜而有不同分辨率，垂直扫描范围是150μm，x、y测量行程超过100mm。
2、问：载物台的尺寸一般是多大？测量最大高度是多大范围？Z轴测量的最高精度是多少？
答：手动载物平台的尺寸：XY：150mmx100mmTip/Tilt：±3°PZT扫瞄器的行程为150μm，故最大可能量测范围是150μm，但请须考虑到载物台，超过150μm，可以视具体情况加高定做。Z轴的运动精度在2个μm，其每一步的扫描精度在75nm。
3、问：投影扫描出来的图形能够一张张的图片拼成一个整体的物件图形？能否做到无缝连接？能否进行三维图形整合？
答：可以的，我司扫描出来的图形通过另一款分析软件可将扫描出的图形做到无缝拼接，而扫描出的图形本身就有二维和三维的，所以三维图形整合也是没问题，我们把这个叫做图形缝纫。
4、问：运用平台的移动跳动精度（重复精度）什么范围？三轴线性精度范围？
答：SIS-1200机型因是手动平台，故没有办法提供精确的移动再现性(人的手没办法每次都有精确的重复移动)三轴的运动精度分别为X、Y轴5个μm，Z轴在2个μm。
5、问：能否配有标准目镜？
答：目镜：以CCD取代目镜，故没有目镜，但可以直接从计算机屏幕上看到影像。
物镜：请查看敝公司提供给贵公司的物镜清单，客户可以加购其他的镜头。
6、问：测量标准件是什么依据？有何验收方式？那些国际标准可送的检验标准件？
答：敝公司有标准片做为校正依据。
7、问：验收方式：确认设备的量测性能规格(依标准片量测)
答：1sigma(同点量测20次)<规格数字(一般是1sigma