1、最大需要测几寸的wafer？
2、探针台机械精度要求多高？
3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？
4、最多需要几根探针同时去点测？
5、是否会用到探针卡？
6、光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？
7、显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
8、探针点测时，对电流的要求是否达到100fa？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？
9、接驳的测试仪器接口都有哪些？
10、测试环境时是否会需要加热或者降温？
11、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
12、是否需要防震桌？
13、若添置防震桌，普通空压机的噪音是否会影响到人员的正常办公？