双频激光干涉仪用于微位移的测量

  仪器信息网 ·  2011-05-30 20:49  ·  58327 次点击
由德国耶拿尔公司生产的ZLM800双频激光干涉仪,在各种微位移实验室得到广泛的应用。主要用途是对主动光学拼接镜面技术中微位移器件、装置、设备等进行测试、定标和研制。同时,也可对其他各种场合的微位移进行测量。
目前,中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所就采用德国耶拿尔ZLM800型双频激光干涉仪作为其微位移技术实验室的主要科研设备,用于高精度、高分辨率的应用测量。
以下为ZLM800双频激光干涉仪的两个应用案例。在第一个案例中,用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动,实时测试两个摆镜对应量(俯仰、偏摆和位移)的差异情况。在第二个案例中,用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况,2个一轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。
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