主要用途：
XPS：
1.固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样深度为～3nm
2.元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式）
3.可进行样品的原位处理
AES：
1.可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析）
2.可进行深度分析适合：纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究