电源开关打开，风机不转或电子管灯丝不亮，可能20A保险丝已坏。排除这类故障，只需要换一只新保险丝即可。在燃烧样品过程中，如产生高压打火现象，应立即切断高压电源，即按面板上〖复位〗开关或按〖Esc〗键退出分析状态。等故障排除后方可继续分析。
产生高压打火的原因：
(a)石英管壁熔渣太多没有及时清扫所引起的石英管内部打火。解决方法清扫石英管或更换。
(b)加热线圈外部打火，是因加热圈经常片于高温状态，易氧化，氧化后的铜片引起高频电场击穿。解决这类故障，只需停机，清扫加热圈。
当高频炉进入加热工作状态时，板流及栅流电流表无电流指示，最常发生故障的部位是高压整流堆及主振回路中的电容C4、C5损坏，可逐项检查。