我们都知道现在的电子衡器之所以能比较精确的测量出重物的重量，就是由于其配备了压力传感器的作用。但是我们在使用的过程中往往遇到高温或是低温，这些都影响到了衡器的准确度，因此就需要为衡器设计一个温控系统，说简单点就是加装一个温度传感器，温度过低时就升温，温度过高时就降温，从而保证衡器的准确度。
在微电子器件领域，针对SiC器件的研究较多，已经取得了较大进展，而在MEMS领域针对SiC器件的研究仍有许多问题亟待解决。在国内，SiCMEMS的研究非常少，因而进行SiC高温MEMS压力传感器的研究具有开创意义。碳化硅(SiC)具有优良的耐高温，抗腐蚀，抗辐射性能，因而使用SiC来制作压力传感器，能够克服Si器件高温下电学、机械、化学性能下降的缺陷，稳定工作于高温环境，具有光明的应用前景。
1硬件系统
用放置在腔体内的温度传感器测量恒温箱内的温度，产生的信号经过放大后输出反馈信号，再用单片机进行采样，由液晶显示恒温箱内的温度，并通过温度控制算法控制加热装置。所使用的单片机为STCl25408AD，自带A／D转换、EPROM功能，内部集成MAX810专用复位电路(外部晶振20MHz以下时，可省外部复位电路)，ISP(在系统可编程)／IAP(在应用可编程)，无需专用编程器可通过串口(P3．0／P3．1)直接下载用户程序，数秒即可完成一片。硬件结构框图如下图所示。
[attach]47983[/attach]
2系统的控制模型
电加热装置是一个具有自平衡能力的对象，可用一阶惯性环节描述温控对象的数学模型。
G(S)=K/(t's+1)(1)
式中：K为对象的静增益；t’为对象的时间常数。
目前工程上常用的方法是对过程对象施加阶跃输入信号，测取过程对象的阶跃响应，然后由阶跃响应曲线确定过程的近似传递函数。具体用科恩-库恩(cohen-coon)公式确定近似传递函数。
cohn-coon公式如下：
k=△C/△M
t’=1.5(t0．632-t0．28)
式中：△M为系统阶跃输入；△C为系统的输出响应；t0．28为对象上升曲线为O．28△C时的时间(单位：min)；t0．632为对象上升曲线为O．632△C时的时间(单位：min)；从而求得K=O．96，t’=747s。所以恒温箱模型为：
G(S)=0.96/(747S+1)(2)