冷镜式精密露点仪采用热点制冷技术，并且可以自动补偿零点和连续跟踪测量露点。带有单片微处理机的露点仪，还可以吧露点温度同时转换为相对湿度、空气中水气体积分数等测量单位，应用广泛。
精密露点仪标准装置通常配置为冷镜式精密露点仪、露点发生器、空压机、干燥器。其中空压机将空气送入干燥器，气体经过露点发生器产生标准露点温度气体，气体经三通分别送入高精度冷镜式精密露点仪和被检露点仪。由此系统发生露点温度一般无法低于-60°C，即使采用湿度发生器最大耐受压力的空气压缩机，干燥吹扫运行一两个星期，也无法达到JJG499-2004(精密露点仪)检定规程规定范围(露点温度-70°C)；并且该系统以软管、三通连接方式.