测量原理
非接触式技术光波干涉法，与一已知平面（参考平面）比较法测量。
测量方法
采用等倾干涉法。在等倾干涉仪中用210mm长平晶与200mm的研磨面平尺整段比较测量或与330mm的硬座面平尺分段比较测量，得到的测量值修正长平晶工作面平面度后，按最小条件计算得到研磨面平尺工作面的平面度。
测量程序
1.用平面等倾干涉仪（装置）测量研磨面平尺平面度。
2.210mm长平晶做标准器。
3.等倾干涉仪做比较使用
4.两个1mm量块研合在长平晶两端做支撑用
5.研磨面平尺放置在检定室内温度平衡时间不少于10h
6.长平晶与研磨面平尺放置在食品内的温度平衡时间，对于200mm研磨面平尺和210mm长平晶不少于1h，对于330mm研磨面平尺和210mm长平晶不少1.5h。
测量条件
1.平面等倾干涉仪（装置）经检定符合JJG661-2004《平面等倾干涉仪检定规程》要求。
2.210mm长平晶的规程符合JJG28-2000《平晶检定规程》要求。
3.210mm长平晶工作面平面度符合JJG28-2000《平晶检定规程》要求，且具有修正自重变形影响后平面度数据证书。
4.经检定两块1mm量块的尺寸差小于0.1um。
5.检定室温度：（20±5）度，温度变化不得超过0.1C/H和1C/24H
6.检定室内的温度与食品保温箱内的温度之关小于0.2度。
7.测温仪的分辨力：0.01度。
8.长平晶的制造材料费是k9光学玻璃，研磨面平尺是钢制的。
9.操作人员是经过培训的，且熟悉平面等倾干涉仪（装置）的使用。