扩散泵使用高速的蒸汽直接喷射泵在喉咙气体分子分解成的泵出排气底部。于1915年主办沃尔夫冈盖德和使用汞蒸气，它们是高真空的自由分子流中，把气体分子运动，能更好地为比传统的流体动力学扩散的理解，政权运作泵第一类。盖德使用的名称扩散泵的设计是因为他在发现气体不能扩散对汽流为基础，但将与它进行的废气。但是，工作原理可能更精确地气描述射流泵，由于扩散起到了重要作用，而且在其他高真空泵。在现代课本，扩散泵是归类为动量转移泵。扩散泵广泛应用于工业和研究应用。大多数现代扩散泵使用作为工作介质。塞西尔雷伯奇发现了1928年使用的可能性硅油硅油。
油扩散泵
油扩散泵的运作是一个低蒸气压油。其目的是实现更高的真空(低压)由正排量泵仅比使用是可能的。虽然它的使用主要是有关在高真空范围(下降到10-9毫巴)，今天的扩散泵产生的压力接近10-10毫巴适当的时候与现代流体及配件使用。使扩散泵高，超高真空有吸引力的是它的高抽所有气体和抽速每单位成本低，速度比其他类型的泵在同一真空范围内使用。扩散泵不能直接排放到大气中，所以前级机械泵通常用于维持约0.1毫巴出口压力。
六英寸油扩散泵及油扩散泵工作原理图
高速喷射产生的沸腾液体和指导大会通过喷射蒸汽。喷嘴内，从层流的变化，以超音速和分子。通常的战斗机中使用，以加强抽水行动。的扩散泵采用外冷却或空气流或水线。由于蒸汽喷射冷却的影响外的扩散泵壳，工作液浓缩，被回收，并指示回到锅炉。抽水气体继续流入的压力在增加，泵的基础，流经扩散泵出口在何处压缩辅助前级机械泵和枯竭的环境压力，进行。
与涡轮分子泵和低温泵，扩散泵没有移动部件，因此相当耐用，可靠。他们可以在压力的作用10-10〜10-2毫巴范围。他们只能通过驱动对流，从而对能源效率非常低。
扩散泵的一个主要缺点是进入真空室的趋势backstream石油。这油能污染的表面或内部的后室与热丝或放电接触可能会导致碳和硅的存款。由于回流，油扩散泵是不适合高度敏感分析设备或需要一个非常洁净的真空环境中的其他应用程序使用，但汞扩散泵可能是在超案件的高真空室用水银沉积。通常冷阱和挡板，以尽量减少用于回流，虽然在有些情况抽水能力的丧失这一结果。
一个油扩散泵操作常见的错误是在热油接触的气氛。如果发生这种情况，将燃烧的石油，并予以更换。一个系统应始终被冷却到室温接触之前的气氛。
蒸汽喷射泵
蒸汽喷射器是一种扩散真空蒸馏及冷冻泵流行的一种干燥。一个蒸汽喷射泵认为，必须从蒸汽真空室中删除。蒸汽喷射器可以有一个或多个阶段，并没有各阶段之间的冷凝器英寸。
压缩空气喷射泵
其中扩散真空泵类是多级压缩驱动喷射空气。这是非常流行的应用中使用的对象是各地和真空吸盘线迁出。