一般测量光滑的表面比较容易，对表面的粗糙度要求比较高，粗糙度好的设备不低于20埃，能测量200埃薄膜的算是比较精确的了，测量误差在5%-10%左右，好的设备对于一致性要求比较高，台阶仪一般要注意防震，大的噪音，和振动都会对测量曲线有较大影响，国内此种设备精度和一致性不太好，美国AMBIOS的还可以。