热导式气体传感器用于集成电路制造中电子气体浓度检测

  凤凰火 ·  2 个月前  ·  9060 次点击
近年来,随着电子行业的快速发展,电子气体在半导体行业中的地位日益突出。电子特种气体在集成电路制造中应用广泛,涉及很多制造环节。其中,惰性气体主要用作保护气体,常用于高温烘烤或清洗过程中,如氮气、氩气、氦气等。
作为集成电路制造的关键材料,随着下游工业技术的快速迭代,电子特种气体的精细化程度不断提高,尤其是在纯度和#精度#方面。比如纯度方面,一般工业气体要求在99.99%左右,但在先进集成电路制造过程中,要求气体纯度在6N(99.9999%)以上。
集成电路产业是先进制造业的基础产业,下游应用覆盖汽车、通信、电器、计算机、航空航天、军工、光伏等主要行业。半导体集成电路技术的进步和产业的发展,催生和推动了物联网、人工智能、大数据、工业互联网等新兴产业。
说到集成电路,就不得不提“硅”。硅是集成电路生产中最重要的原材料,硅片市场约占整个半导体材料市场的三分之一。目前,90%以上的集成电路芯片都是以硅片为衬底的。可以说,硅是集成电路的承载基础。
在集成电路制造过程中,经常会用到高纯电子气体,如N2、H2、O2、Ar、he等,常用于高温热退火、保护气体、清洗气体等。此外,硅生产设备的单晶炉也离不开惰性气体。单晶炉是在惰性气体(主要是氮气和氦气)环境下,用石墨加热器熔化多晶硅等多晶材料,用提拉法生长无位错单晶硅的一种设备。在单晶硅的实际生产中,它对控制硅晶体的温度和质量起着关键作用。
电子气体的使用也不是随心所欲的,不同的使用环境对浓度有不同的要求。这就需要对电子特气浓度进行监测,工采网技术工程师推荐使用热导式气体#传感器#来检测电子特气浓度。工采网代理的多个品牌的热导式气体#传感器#如以下几款:
德国HLP 热导式气体#传感器# - TCS208F,采用先进的 MEMS 加工技术生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型#传感器#
瑞士Neroxis 热导式气体#传感器# - MTCS2601,基于帕拉尼原理的真空度检测,需要超低功耗,长寿命和免维护。
荷兰Xensor 高速响应热导式气体#传感器# - XEN-5320-ALU,#传感器##探头#外露,响应速度超快,T90响应时间< 1 s,可用于医疗、R&D和工业环境中,氢气H2、氦气He、二氧化碳CO2、氮气N2及甲烷CH4气体混合的监控和泄露检测。

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