现在臭氧杀菌很常见，根据臭氧杀菌原理发明的臭氧杀菌柜也有许多用途，它使用臭氧作为杀菌剂进行杀菌。臭氧灭菌柜可广泛用于制药厂、医院、生物制品厂、化妆品厂、食品厂等行业的包装容器、工作服、清洁用具、原辅材料、模具等的常温灭菌。
臭氧是气体消毒剂，其灭菌过程是强氧化，使微生物细胞中的各种成分发生反应，导致不可逆转的变化和死亡，通过直接破坏病毒的RNA或DNA来灭活病毒。为了杀死细菌和霉菌，臭氧首先作用于细胞膜，对细胞膜的成分造成损害，引起代谢紊乱并抑制其生长，然后继续渗透并破坏膜中的组织，直到被杀死。
臭氧作为广谱无残留污染的气体消毒剂，与食品工业中常用的甲醛和二氧化硫相比具有特殊的优势。臭氧会自行分解为氧气，无残留污染，消毒后只需通风。
以食品工业为例，臭氧在食品工业中的应用目的有两个方面：杀死微生物-杀菌和消毒；氧化分解有机或无机物质，污染气体味道，除臭净化。这两方面的应用基础取决于臭氧的强氧化性能和不稳定和可分解特性。
消毒柜的用途是杀菌，因此，当我们将需要消毒的物品放入柜子内时，应注意物品之间的间距，不要过多地使用室内空间，否则我们将无法达到理想的消毒效果。
在整个消毒过程中，除非必要，否则无需打开柜门，这不仅会危及消毒效果，但也会增加功耗。如果是高温消毒柜，消毒后柜内温度仍然很高，一般来说，需要在10～20分钟后才能打开柜子拿东西，并且每次消毒完成后，必须立即关闭开关电源或拔下电源。
臭氧消毒柜中臭氧浓度的把控很重要，只有适当的浓度才能保证消毒效果。工采网建议使用臭氧#传感器#来监测消毒柜中臭氧的浓度，如以下两款：
美国ECO 臭氧#传感器# - OEM-3，集成了电源、最终#传感器#信号处理、设定点控制、模拟输出信号和输出#继电器#，零按钮允许重新调零#传感器#输出。
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