洁净室洁净度等级标准——ISO 14644-1
Tess · 2012-02-17 09:07 · 39599 次点击
一、ISO-14644是国际标准,现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国都采用此标准,美国原来应用的是美国联邦标准209A、B、C、D、E,现在美国也不用了。
原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准FS209B,现在它们分别被国际标准ISO-14644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。
洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级(ISO-14644)
空气洁净度等级(N)≥标识粒径的最大浓度限值(个/m3)
0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm
1102////
210024104//
31000237102358/
4100002370102035283/
51000002370010200352083229
61000000237000102000352008320293
7///352000832002930
8///352000083200029300
9///352000008320000293000
注:①每点应至少采样3次。
②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。
③根据工艺要求可确定1~2粒径。
④根据要求粒径D的粒子最大允许浓度由下式确定(粒径0.1μm~5μm)
Cn=10n×(0.1/D)2.08(个/m3)
公式中N为洁净度等级在1~9级中间可以0.1为最小单位递增量插入。
二、国标洁净等级标准ISO-14644与各国洁净度等级标准的比较
国际标准ISO-14644与各国标准的比较表
国际标准ISO-14644中国标准GB50072美国标准FS209E俄国标准TOCT50766日本标准TIS9920德国标准
///P0//
11/P111
22/P222
33M1.5P333
44M2.5P444
55M3.5P555
66M4.5P666
77M5.5P777
88M6.5P888
99/P9/9
注:美国联邦标准FS209E已经停止使用。