洁净室（区）空气过滤器使用现场典型案例-空气过滤器设计|空气过滤网性能|空气过滤器质量主要是通过客户现场办公分析电子工厂初中高效空气过滤器使用现场若干典型案例，电子工厂大量使用空气过滤器，介绍解决那些洁净室（区）空气过滤器问题的思路和方法。问题包括空气过滤器设计、空气过滤器性能和空气过滤器质量、空气过滤器现场操作。洁净室（区）空气过滤器使用现场典型案例-空气过滤器设计|空气过滤网性能|空气过滤器质量经验表明，只要工作仔细一些，许多故障可以避免或被及时排除，与过滤器打交道的过程中，我和同事们遇到过许多蹊跷故障，那些故障及排除过程，令人头痛，但很有启示。以下几段案例，或许会给同行们一些启发。
典型案例一：专家干瞪眼的事
有一次，一个净化厂房的洁净度不合格。厂家来人拿着测量仪器测量，HEPA过滤器下方0.5M范围内的粒子浓度在受控范围内，可再往下测，各当量直径的粒子浓度逐渐增加，到了工位，早就超标了。然后再测风速，发现车间没达到规定换气次数。打开空调箱，发现带动风机的皮带打滑，风机丢转，送风量小了。我们遇到过大量类似蹊跷故障，有时，细心的操作工比请来的专家更解决问题。还是那个C厂房，有限的洁净厂房塞满了生产线，其生产线个体数是正常的2.5倍。当时那个厂的自动化程度不高，所以生产操作人员很多，一个班次有近八百人。众多人员给洁净厂房带来麻烦，人的产尘量加大，洁净室（区）空气过滤器使用现场典型案例-空气过滤器设计|空气过滤网性能|空气过滤器质量，且人员是走动的，控制的难度更大。尤其是冬天，人带进洁净厂房的灰尘更多。在无奈的情况下，加大换气次数是我们当时的唯一的选择。可随着风速加大，过滤器的阻力也增加，又引发出一系列其他问题。我们曾在送风管内测风速、风压，其数值均高出正常值很多。
有个极端事例发生在LAC车间。原来只能容纳一条生产线的洁净厂房，放置了三条线。为了将易挥发的有机废气排出，而不让厂房形成太大的的负压，空调送风量高出正常值的2倍还多，站在送风口下，人的感觉像吹电风扇。结果，这样吹了一年不到，有的HEPA吹坏了。
上述两个厂房的HEPA过滤器都出现过严重事故，甚至被吹破过，我们请教过一堆专家，也有些过滤器厂商来推销据说可以满足那种环境的新型过滤器，可谁都没能解决问题。后来，我们停运一部分生产线，减少了车间操作人员，并提高了生产的自动化程度，以便使我们可以将空调送风量降低到合理范围，局面才有所改善。
典型案例二：初效过滤器破不得
一间生产彩色显示器的洁净厂房，厂房与外界的正压也失控，外界的脏空气顺着传递物料的传送带通道进入厂房。室内的洁净度超标，眼看就要停产。建成时间不长，空调送风量变小了，温湿度失控，温度远远高出22±1℃的设定值，洁净室（区）空气过滤器使用现场典型案例-空气过滤器设计|空气过滤网性能|空气过滤器质量，达到30℃，而且随外界气温升高而升高。
维护人员立即查找故障，首先怀疑高效空过滤器堵塞，先拆洁净厂房末端的HEPA高效过滤器，拆下一看HEPA不脏。接着，拆下空调箱内中效过滤器，它有点脏，它比HEPA便宜，先换了再说，空调中的初效过滤器最便宜，也换新的。经过一番折腾，没见到送风量增加多少，转而怀疑过滤器本身问题，厂家来人做了个对比试验，将同批次的过滤器提给出问题的工厂和另一个工厂，同时换上使用。结果，出问题的工厂问题依旧，而另一个工厂使用正常。试验表明不是那家公司过滤器的问题。
接下来，我们顺着空调系统仔细查询，细心的人发现，新换上去的初效过滤器，边框附近的滤布有裂口。再进一步调查，找到了原因：滤布是玻璃纤维的，操作工不小心搞破了。破的过滤器碎料和尘土一起被吹到换热器上。到了初夏，换热器中通了冷冻水，换热器表面的冷凝水让灰尘和碎纤维成了泥浆，把换热器糊死了。气流通道堵塞，冷风吹不进厂房，温、湿度也就失去控制。
我们花了好几万元，雇人逐年清洗换热器，问题解决了，从那以后，操作工在更换过滤器时，记住了要轻拿轻放。我们还从中得到了另一个启发，遇到用了很长时间阻力仍不报警的过滤器，也许是破了，气流短路了。
典型案例三：HEPA高效过滤器的密封
HEPA高效过滤器的密封边框上有一圈弹性很好的密封垫，与高效送风口的密封端面严密地贴合在一起。在使用过程中，有些维护和施工的人员会站到风口上，如果不小心，或高效送风口结构强度差，风口的结构可能会变形，过滤器与结构的密封端出现缝隙，未经HEPA过滤的空气从缝隙进入净化厂房，破坏了洁净度。出现这种现象，短时间内不宜被发觉，我们曾以为是HEPA过滤器有问题，但时间长了，缝隙周围会出现灰尘痕迹。当发现洁净度超标准，我们就先打开送风口的均流孔板，用仪器检查是否有漏风。另外，有些HEPA过滤器上的密封垫是弹性好、半圆形截面、连续无接缝的密封垫，它与过滤器安装端面是线接触，而另一些HEPA上的密封垫是四条平垫拼起来的，是面接触。线接触密封优于面接触。
空调箱中的初效过滤器、中效过滤器一般不带密封垫，运行时，即使四周漏风，也很难察觉。如果漏风多，压差阻力读数可能不正常增长，但被这些预过滤器保护的洁净室末端的HEPA过滤器得不到有效保护，使用寿命将缩短。
有时，预过滤器效率不低，但被保护的HEPA过滤器寿命依然短。那问题常出在空调箱内的预过滤器密封上。尽管不像HEPA过滤器的密封那么严格，但必须有密封。空调箱应该为过滤器提供可靠的密封结构。有性能良好的密封垫，还要有方便、可靠的卡紧机构。如果缺少卡紧机构或那些机构未正常使用，空调关机时空气回流，可能将过滤器吹落，过滤器不在原位，等于没有过滤段。在现场，预过滤器的密封和卡紧故障经常出现，有设备本身问题，有过滤器问题，也有操作问题。
典型案例四：空气过滤器享用“土耳其浴”
C厂洁净厂房的空调箱是一家新办的空调厂制造的，据说空调箱的设计者是位东南亚的空调专家。工厂初秋开始运行，没多久，天气转凉，空气干燥，工艺要求的室内空气湿度为57±5%，于是空调进入加湿运行状态，空调箱的加湿直接使用蒸汽。加湿的第二天，问题出现了：厂房内温度上升，湿度下降，生产线上的产品全部报废。
我们立即组织专家去检查故障，发现空调送风量小，空调箱内积水较多，靠近加湿器的中效过滤器全部被打湿，而空调的控制系统因检测到室内湿度低，仍在指挥空调系统加湿，加湿器的喷管喷出干蒸汽（疏水正常工作），遇到冷风形成湿蒸汽，将距离加湿器仅50cm,的中效过滤器泡了个透。那种过滤器泡水后，风阻激增，造成空调风量降低，再加多个蒸汽，也到不了洁净厂房，全留在空调箱里了。有的过滤器厂家趁机来到C厂推销“防打湿过滤器”，我们试验了几次，没有哪只过滤器能长时间承受那种蒸汽浴。几个厂家试验了几次不成功，就没动静了，洁净室（区）空气过滤器使用现场典型案例-空气过滤器设计|空气过滤网性能|空气过滤器质量。
东南亚是热带海洋性气候，空调箱几乎都是除湿状态运行，我们估计，那位专家过去很少遇到加湿问题。而我们的工作环境，全年有一半时间需要加湿。那套空调的加湿控制仅有个开关，加湿量不可调，需要加湿时，阀门一下全开，喷出的蒸汽遇到冷的过滤器表面，立即凝结成液态水。又加上蒸汽喷管出口离过滤器太近，雾化距离太短，含小水滴的蒸汽在没有完全扩散成气态水前，被过滤器当颗粒物挡住了。过滤器被水堵死了，空调系统就乱套了。
找到了原因，我们将简单的开关控制换成线性度较好的线性蒸汽调节阀，拉大了加湿器与过滤器的距离，并加装扰流板。采取这些措施后，就不再发生水汽打湿中效过滤器的现象了。
典型案例五：空气过滤器的寿命
HEPA过滤器的使用寿命与空调箱的进风量大小有关。我公司建厂10多年了，早期厂房的高效过滤器的使用寿命一般为5年。2001年初一个新车间投入运行，2年多后，高效过滤器的阻力达到650Pa以上，过滤器报废。查找原因时我们发现，那个车间1220×610mm,高效过滤器的设计风量为送风3150m3/h，远远高于我公司其他车间的情况。
过滤器的寿命还与空调箱送风的品质有关。还是上个案例提到的那个C工厂，厂房北边不到百米处，有一个四百米长、五十米宽的大厂房正在土建施工。秋、冬、早春的天气较干燥，又时常刮北风，随风扬起的沙尘直接扑向C厂房。C厂房内的空调箱上的初效过滤器，使用不到半个月就堵塞了。而离C厂房较远的D厂房，空调箱内过滤器的更换周期正常。当时有人曾认为C厂房用的过滤器容尘量低。我们用显微镜观察过滤材料，看到C、D厂房过滤器上积聚的灰尘粒子尺寸是不一样的，C厂换下的过滤器上颗粒物直径明显大些。C厂空调吸入的粉尘多，过滤器的使用寿命当然就短。
E厂房内需要走叉车，初期用的是烧柴油的叉车，因为柴油叉车力量大。可就是这些柴油叉车，也让过滤器出问题了。未完全燃烧的多碳氧化物在空气中飘散，通过回风进入空调箱，并在过滤器上凝聚。我们用高倍显微镜观察，发现凝聚物在初、中效过滤器上呈半流动状态。那些凝聚物有可能迁移到滤材背面，并因不均匀的加热和加湿空气而挥发，进入下游的HEPA过滤器，加剧HEPA过滤器的阻塞。后来，E厂改用了电动叉车，减轻了厂房内的化学污染，也缓解了过滤器阻塞现象。
典型案例六：氢氟酸腐蚀空气过滤器
空气中的化学污染物可能影响过滤器。电子工厂的排风系统出故障，或厂房内的挥发性、腐蚀性气体的泄漏都可能对过滤器造成致命伤害。E厂房和B厂房使用氢氟酸，在厂房顶部，有专门处理排风酸雾的洗涤塔，用PH值超出8的碱溶液来清洗被排出气体中的酸雾，使之达到排放标准。正常情况下，在此周围的空调进风口吸进的新鲜空气中，酸的含量几乎可以忽略。但是，有时洗涤塔中用于中和酸雾的碱计量泵坏了，喷淋水溶液的PH值已低于5，排风中酸超标，如果排风口离吸风口距离近，酸风再被空调箱吸进，就会对过滤器产生影响。氢氟酸和它的挥发物氟化氢对化纤材料制成的初、中效过滤器几乎没影响，但对玻璃纤维的HEPA过滤器影响巨大，它们腐蚀玻璃，与玻璃纤维反应生成氟化硅。我们曾观察HEPA过滤器的滤芯，看到一层灰白色的粉末，洁净室（区）空气过滤器使用现场典型案例-空气过滤器设计|空气过滤网性能|空气过滤器质量，化学分析的结果是含F和Si元素的物质。
多数情况下，对设计合理的空调系统，空气中的氟化氢含量不高，过滤器被腐蚀的现象不很严重。可怕的是，现场常规过滤器检测手段无法发现过滤器是否受到氟化氢腐蚀，更无法判定腐蚀程度。而HEPA过滤器受到腐蚀可能引发严重的生产和安全事故。
C工厂曾发生过一起严重的酸雾影响HEPA过滤器的事件。在彩色显象管涂层工序，出现废品时，需要用较浓的混酸溶液清洗掉玻璃表面的涂层，有时废品较多，酸雾来不及从工位上的正常排风口排出，而扩散到整个厂房。有一次，弥散的酸雾竟将厂房的窗户上的玻璃腐蚀成了毛玻璃。室内空气中氟化氢因送风口的涡流作用接触HEPA过滤器的表现，将玻璃纤维过滤材料迅速腐蚀，造成了HEPA破损漏风。这样的事我们曾经遇到，HEPA过滤器刚换上去不到一年，就毁了。而这样的情况发生时，净化设备运行的人员，可能不会立即发现生产线的操作人员不当的操作，只能事先预防。
在国内生产彩色显象管的企业，只有个别企业有氢氟酸的车间采用全新风空调系统，以避免氢氟酸对空调系统，尤其是对过滤器的损害。上面提出的事例恰恰发生在最安全的全新风空调系统。多数企业出于节能考虑，同类车间采用的是少部分新风、大部分回风的空调系统，那些工厂的氢氟酸腐蚀过滤器问题可能更严重。在这里，我们仅说到了氢氟酸对设备的伤害，如果考虑它对操作工的伤害，空调行业可能需要对有氢氟酸车间的空调系统进行重新设计。
典型案例七：“破鼓万人擂”的空气过滤器
有一阶段，新进厂的员工检测有挥发性酸的工位时，发现光电粒子计数器的显示粉尘浓度远远高于周围环境，就抱怨净化系统和过滤器有问题。其实，工位周围测量的数据是正常的，而工位的排风有些故障，空气中的酸雾影响了仪器读数，使用光电原理的粒子计数器，环境中的挥发性有机化合物和酸性气体可能附着在光学元件上，使信号失真。而我们的工位上有氢氟酸，它腐蚀玻璃，它可能致命地损伤含光学玻璃元件的粒子计数器。
同事们反复观测生产线的每个工位，我们发现出废品的原因并不是空气洁净度不好。有一道工序的气动部件上喷出的小水滴溅到工件表面，由此造成出白点的废品；另一道工序的下料力量太大，飞溅出液滴落到工件表面，再被均匀地涂复一遍，由此产生出黑点的废品。找到了原因，对工艺进行了相应改进，产品合格率就提高了。
在高度自动化的生产线上，没有人能用肉眼观察到如此小的颗粒物飞溅，大家习惯性怪罪净化系统。过滤器推销商没有穿工作服的习惯，他们很少深入现场帮我们查找原因，经常是我们这些客户在为他们澄清责任。
CDT工厂有一道防静电、防眩光涂层工艺，一段时间，那里的良品率很低，废品主要是由于涂层表面出现斑点，有白色的斑点，也有黑色的斑点，给人的直觉是落上了灰尘。那是个洁净车间，按理说空气很干净的，也许是灰尘落进原料桶里了。我们请来了欧洲专家，按专家的建议采用国外著名公司的1μm液体过滤器滤料制造的过滤器，但试验了多次问题依旧。我们又请来了发明那种涂层工艺的专家，他也认为出废品与空气脏有关。洁净室（区）空气过滤器使用现场典型案例-空气过滤器设计|空气过滤网性能|空气过滤器质量，只有出现高浓度10μm以上的颗粒物时，才可能出现那种斑点，可我们的厂房没那么脏。