超声波流量计仪是一种用于检测半导体制造装置内，涂布药液的流量管理的一种测量仪器，此种仪器的特性是配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间;顺流的超声波会很快到达，相反逆向的超声波则会较晚达到，根据传播时间算出流速，并通过流速算出流量。它主要包括以下几个特点：
1、配管两端装有超声波探头，相互进行收发信号，测定各自传播时间。
2、无突出部位暴露在流液内不会产生测量误差。
3、与液体接触部完全使用TEFLON制造。
4、测量范围大。
技术参数主要包括：
具体型号
USF100A-G20EP
计测方式
超音波传播时间差方式
耐压力
0.5MPa
测定流量范围
0.5-20L/min
分辨能力
0.01L/min
更新周期
0.01秒
测定流量精度
±1%FS
测定对象
流量（纯水、药液）
其主要应用在半导体制造装置内，涂布药液的流量管理方面。