光栅尺--利用光的干涉和衍射原理制作而成的传感器。当两块栅距相同的光栅叠放在一起，同时让线纹构成一微小角度，这时在平行光照射下，与刻线垂直方向上就能看到对称分布的明暗相间的条纹，称爲莫尔条纹，因此莫尔条纹是光的衍射和干涉作用的总效果。当光栅移动一个小栅距时，莫尔条纹随之移动一个条纹间距，这样，我们测量莫尔条纹的宽度就比测量光栅线纹宽度容易的多。此外，由于每条莫尔条纹都是由许多光栅线纹的交点组成，当线纹中有一条线纹有误差时(间距不等或倾斜)，这条有误差的线纹和另一光栅线纹的交点位置将产生变化。但是，一条莫尔条纹是由许多光栅线纹交点组成，因此，一个线纹交点位置的变化，对于一条莫尔条纹来讲其影响就非常小了，所以莫尔条纹可以起到放大和平均的作用。
磁栅尺--利用磁极的塬理制作而成的传感器。基尺是被均匀磁化的钢带。S和N极均匀间隔排列在钢带上，通过读数头读取S，N极的变化来记数。
光栅尺受温度影响较大，一般使用环境在40摄士度以下。(三坐标测量机一般都要求在恒温横湿环境下测量，保证测量精度。)
敞开式磁栅尺容易受磁场影响，封闭式磁栅尺则无此困扰，但成本较高。