电容式压力传感器
仪器网 · 2012-07-14 11:47 · 14739 次点击
电容式压力传感器一般出弹性体扣可变电容器组成,其工作原理与咆存式力侦伶感胎类似.被测压力首先使弹性体(通常足股j门猎换成变形量,此膜片又是可变电容船的一个活动极板,膜片的变形就会创起可变电容路电容的变化,泅过测量电容的吸化使可得到被测压力的大小.
图7—21为是动电容式压力传感器原理图.两固定电密极板为镀上金属膜的凹型玻璃圆片,在两边压差为零时,膜片不变形,两个电容相等.当两个腔的压差增大时,膜片向低压一边弯曲.佃一个电容增大,一个电容减小,电容的变化气压差成反比.测出此电容的变化即可知道被测的压差值.
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