位移传感器是将被测振动的位移幅值转换成电量的—种换能器，在振动测量中.常用的比移传感器有电容式、电感式和电涡流式三种。
(一)电容式位移传感器
电容式位移测振传感器的工作原理与电容式力值传感器类似，将可变电容器的一个极析固定，另一活动极板安装在被测振动物体上.当物体振动时，两极板间的距离或面积变化，从而引起电容的变化，通过适当的测量电路.就可将此电容变化转换成电压、电流或频率等电信号输出.根据输出信号的大小，便可确定被测振动物体振动位移幅值的大小.
电容式位移传感器特别适用于测量高频振动的微小振幅(0.05um).
(二)电感式位移传感器
电感式位移传感器能将振动位移转换成线圈电感的变化.英工作原邵与电感式庆力传感器类似，根据其结构型式的不同，也有变间隙式、螺管式反差动式等几种.只要将变间隙式什感豁中的衔铁及隙瞥式巾的铁;露固定在被测扳动体上，当物体振功时，线因的电感就发生变化，其变化量与振动物体的位移成比例.配上适当的电地将电感的变化转换为电压、电流或频率的变化测其共变化量便可确定被洲振动比移的大小.
差动变压器式位移传感器的测量范围为1mm到几十mm，最小可测到0.1um.可测振动的频率范围为0-1000Hz。
(三)电涡流式位移传感器
一块金属块放置在一只线则时近，相互并不接触，如图11—2听示.线圈中通以交流电流.则在线圈周围产生交变磁场，此交变磁通经过附近的金属板，金属板上仪产生感应电流.这种电流象水中旋涡那样在板上转圈，故称为“电涡流”.
利用电涡流原理制成的传感器叫涡流式传感器.这种传感器实际上是一个扁平的空心电感线阳，如图11一3所示.线阳通高频电流i，在其周围产生的高频交变磁通为中，则线圈的电感为：[attach]49043[/attach]
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