冷阴极电离真空计和热阴极电离真空计一样，是利用低压状态下放电电流和气体压强的关系来进行真空度测量的.冲阴极电离真空计测量原理如图8—14所示.冷阴极电离规管结构为二极管.在一个玻璃管内封装两块平行的金属平板作阴极，阴极材料—般采用在离子轰击下二次发射系数高的镍、钳及不锈钢等.在阴级之间装设一个环状阳极，阳极材料为镍、相、不锈钢及锦铬台金.冷发射(场致发射、光电效应或气体被宇宙射线电离等)产生的少量初始电子，在电场作用下得到加速，当其具有一定能量时，会使气体分子电离.电离产生的正离子在强电场的作用下，高速轰击阴极，在阴极表而打出二次电于，这些电子在正向阳极时，再与气体分子碰撞，又使气体分子电离，如此过程不断进行，终于在规管电极间形成自待放电.同时，内于在心场外面加一个正交磁场，使带电粒子在磁场中沿螺旋形轨迹向前运动，延长了带电粒子飞行路程，提高了碰撞机率(阳极作成环状也有利于延庆电子飞行路程).这样少量的初始电子，在电、磁场的作用下，在短时间内产生大量的电子和离子.只要知道放电电流与气体压强的对应关系，就可以进行真空度测量。
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在实际工作中，由于放电电流与气压之间并非简单的线性关系，所以必须通过校核定度价出标准压强值与放电电流对应关系的校准曲线，根据校准曲线，利用冲阴极电离真空计的放电电流指示，方可进行真空度测量.闯8一14中的R为限流电阻，其主要作用处保护规管.今放电电流增大时，规管电极间的电压就会下降，使通过规管的电流不致增大到产生弧光放心的危险程序.但应注意，由于R的存在，使规管电极间的电压降低，将会造成灵敏皮下降.
从上述测量原理可以看出，冷阴极电离真空汁测量电路，既不需要发射电流稳定监置，也不需要离子流放大器(因放电电流很大，直接用微安表即可测量)，比起热阴极电离真空计的测量电路要简单得多.
冷阴极电离克交计测累电路主要由直流高压电源和放电电流测量仪表组成。
冷阴极电离具空计的测量范围一般为1—10^-5Pa.
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