热偶真空计常用于低真空的测量，其测量范围一般为1-10^-3托。
它的结构如图3-3所示，主要由以下两部分组成。
(1)热偶式规管。
(2)测量仪器:由热电势测量仪表和规管加热丝稳定电源两部分组成。
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热偶式规管由加热丝与用来测量加热丝温度的热电偶两部分构成。热电偶的一端(即热端)与加热丝相连，另一端作为冷端引出管外，通过管座接至测量热偶电势的毫伏计。
工作时，将与被测真空系统相接的热偶式规管的加热丝通以一定的加热电流，在低真空状态下，热电偶产生的热电势决定于周围气体的压强，这是因为加热丝温度的变化取决于气体分子的热传导，当压强降低时，气体传走的热量减少，加热丝的温度随之升高，于是热电势增大，情况相反时，则热电势减小。图3-4为热偶电势随压强变化的实验曲线。
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从这些曲线表明，规管加热电流改变时，对它的灵敏度和压强测量范围都有影响。当加热电流增大时，规针的灵敏度增大，能测量更高的压强，但是测量范围变得较窄。相反，当加热电流减少时，灵敏度就下降，只能侧量较低的压强，但测量范围较宽。因此，在一定的加热电流情况下，如果事先已测得热偶电势与压强的关系曲线，那就能根据热偶电势测量仪表上的读数直接得出被测真空系统的压强。
这种真空计的测试精度已能满足一般工业上的要求。
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