冷阴极电离真空计具有热阴极电离真空计所没有的许多优点。其中很重要的一点，就是这种真空计的测量结果几乎不受软X射线的影响，因此可以测量非常低的压强。但是一般的冷阴极电离真空计存在着下列缺点，限制了它的测企下限的扩展。
1.当压强接近超高真空时，规管的放电就变得十分困难，甚至不能激发;
2.在很强工作电场的影响下，离子收集极产生的场致发射限制了测量下限的进一步扩展;
3.离子流与压强的关系，在很宽的测量范围内呈非线性，而且还由于在低压强下放电不规则造成工作时的不稳定，如在同一压强下有时会出现有两个读数的双值现象。
针对这些缺点，人们又采取了相应的改进措施，从而得到了能用于极高真空测量的真空计，这就是冷阴极磁控式电离真空计。按规管的结构形式不同，主要可以分为以下两种:
1.冷阴极反磁控式电离真空计;
2.冷阴极正磁控式电离真空计。
由于冷阴极磁控式规管的结构及其电子运动轨迹类似于超高频磁控管，故称这类规管为磁控式规管，正磁控式规管的主耍结构提阴极设置在阳极的里面。与此相反，则称为反磁控式规管。
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