超高真空计对微弱离子流测量的要求
仪器网 · 2012-07-14 23:35 · 54682 次点击
微弱离子流的测量是超高真空计的测量电路部分的心脏,它关系到由B-A式规管输出的微弱离子流信号能否得到准确可靠的测量,以作为被测真空度的指示。为此,在考虑微弱离子流测量时,就得考虑超高真空测量中的特点,主要有:
1.被测压强下限低达10^-10——10^-11托;
2.测量范围较普通热规更宽:10^-8——5x10^-11托;
3.要同时考虑测量时发射电流的变化范围,一般要改变三个数量级如0.1,1,10毫安三档。
由此可见,这较普通电离真空计更为复杂。表5-6所列为在不同工作发射电流时,整个超高真空测量范围内相应的微弱离子流的量程。
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由上表可知,对应整个超高真空测量范围,就要求微弱离子流的测量范围为10^-4——5x10^-14安。
但在实际测量中,发射电流主要采用1毫安,这样可以稍为降低微弱离子流的测量要求。可是考虑到为了使得测觅结果有清晰和可靠的指示,就要求微电流测量放大器的灵敏度(最小能分辨的指示值)应较最小被侧离子流要小一个数量级左右。但又考虑到不致使离子流测量放大器过于复杂以及使用可靠起见,对超高真空的微弱离子流的测量范围至少应为1x10^-5-1x10^-18安。
此外,还必须保证离子流测量放大器在长期测M过程中,具有足够的稳定度和侧量精度(一般测量误差要求