目前，测量超高真空的仪表有如下三种:
1.B-A式电离真空计;
2.冷阴极磁控式电离真空计;
3.场致显微镜。
B-A式热阴极电离真空计是一般圆筒形收集极热阴极电离真空计的发展，为了便于与后者的区别，在习惯上就称B-A式热阴极超高真空计，又简称为B-A式真空计或B-A规。表5-1为
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这三种超高真空仪表的对比情况。从表中可以看到，B-A式电离真空计的优点最为显著，因此，在超高真空测量中获得了广泛的应用。
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