目前，测量高真空的主要仪表是电离真空计。它是利用气体分子电离的原理来测量真空度的仪器，根据气体电离源的不同，通常将电离真空计分成三种:
1.利用热阴极发射的电子来进行电离的称为热阴极电离真空计，简称“热规”;
2.利用阴极的场致发射、光致发射或次级发射的电子来进行电离的称为冷阴极电离真空计，简称“冷规”
3.利用放射性同位素的射线来进行电离的称为放射能电离真空计。
近年来，高压强热阴极电离真空计的发展，弥补了热规以往不能在较高压强下工作的缺点。表4-1为两种电离式高真空仪表的测量范围和精度。
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