电阻式应变片的种类

  仪器网 ·  2012-07-14 23:35  ·  17872 次点击
电阻式应变片的种类可分一般金属应变片和半导体应变片两类。
1.一般金属应变片
一般金属应变片分为金属丝式、箔式、薄膜式三种。如图14-3所示。金属丝式应变片有纸基、胶基两种,由于该类应变片受拉仲时蠕变较大容易断裂、脱胶,使绝缘墓底和盖层分离,所以有被其他两种应变片取代的趋势。但因制作简单、价格便宜,口一前仍广泛用于低测量精度应力、应变测量场合。
[attach]49718[/attach]
金属箔式应变片采用光刻、腐蚀工艺,在粘贴于绝缘基底的薄金属片上制成箔式电阻网栅。由于与基底的接触面积较大,所以在受拉伸时不易脱胶。散热条件好,可通过较大电流。蠕变较小、一致性好易于大批杖生产。目前广泛用于应变式传感器制造上。
薄膜式应变片采用真空燕镀技术,在绝缘基底上蒸镀一层薄金属材料制成薄膜电阻,然后用覆盖层加以保护。它与基地的接触面积最大,性能优于其他应变电阻。
2.半导体应变片
半导体应变片采用锗、硅半导体材料,利用光刻、腐蚀或压膜工艺,在基底上制成应变敏感栅,然后用覆盖层加以保护,如图14-4所示。
[attach]49719[/attach]
半导体应变片的优点是应变系数较大,分辨率高。但由于半导体材料性质决定了它与应变之间的非线性,所以温漂大、一致性也差。在使用时应增加温度补偿、零点漂移抑制以及其他非线性补偿措施。
在图14-4中,N型硅和P型锗两种半导体在受拉伸时,阻值变化互异,可构成双臂半桥,即可产生温度自补效应又可降低非线性影响。
来源:《石油计量及检测技术概论》,转载请注明出处-仪器信息网(www.cncal.com)

0 条回复

暂无讨论,说说你的看法吧!

 回复

你需要  登录  或  注册  后参与讨论!