1、优点
热分布式TMF可测量低流速(气体0.02-2m/s)微小流量;浸人式TMF可测量低-中偏高流速(气体2-60m/s)，插人式TMF更适合于大管径。
TMF无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸人型仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。
TMF使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流R传感器，组成简单，出现故障概率小。
热分布式仪表用于H2,N2,伍、CO,NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于Ar,He等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
2、缺点
热式质量流量计响应慢。
被测气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。
对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。
对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗;对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。
对脉动流在使用上将受到限制。
液体用TMF对于粘性液体在使用上亦受到限制。
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