除用导体材料制作热电阻以外，还有用半导体材料制成的半导体电阻温度计，利用半导体元件测温有以下一些优点:
1)半导体的电阻温度系数比金属大，其绝对值约大4-9倍，电阻材料可以有正的或负的温度系数，根据需要可以选择;
2)电阻率大，因此可以制成极小的电阻元件;体积小、热惯性小，适于测量点温、表面温度及快速变化的温度;
3)结构简单，可根据不同要求，制成各种形状;
4)机械性能好，寿命长。
半导体热敏电阻的缺点是复现性和互换性差。此外，目前使用的上限温度还不够高.约在300℃以下。但据报道，已制出能测高达2000℃半导体热敏电阻。半导体热敏电阻的特性还有待进一步研究提高。
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