利用改变极板间的距离使电容变化的方法进行位移、形变、厚度的测量。
在厚度测量中，可进行非接触式测量。电容式传感器的极板为电容的一个极，被测工件或材料(导电体)通过与基座的接触成为另一个极。当传感器极板至墓座表面的距离D为已知值时，测出气隙δ的大小，即可得到被测工件或材料的厚度为d=D-δ
最典型的应用是电容侧厚仪。
电容测厚仪是用来测址金属带材在轧制过程中的厚度的。它的变换器就是电容式厚度传感器，其工作原理如图5-11所示。在被测带材的上下两边各放置一块面积相等，与带材距离相同的极板，这样极板与带材就形成两个电容器(带材也作为一个极板)。把两块极板用导线连接起来，就成为一个极板，而带材则是电容器的另一个极板，其总电容C=C1+C2
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金属带材在轧制过程中不断向前送进，如果带材厚度发生变化，将引起它与上下两个极板间距变化，即引起电容量的变化，如果总电容量C作为交流电桥的一个臂，电容的变化△C引起电桥不平衡输出，经过放大二检波、滤波，最后在仪表上显示出带材的厚度。这种测厚仪的优点是带材的振动不影响测最精度，
另外，在渊转速时，也是采用改变极板的相对位置获得电容的变化，从而实现转速测量。如图5-12，当电容极板与齿顶相对时，电容盆最大，而与齿晾相对时电容最最小。当齿轮旋转时，电容址就周期性地变化，计数器显示的频率对应着转速的大小，若齿数为Z。由计数器得到的频率为f,则转数N=f/Z，除用于测转数外，也可用于产品的计数。
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