我单位JCXA-733电子探针是1989年引进的，至今已工作20年。近两年该仪器在图像方面出几次故障，现将两例较典型的故障现象、故障分析及排除故障的方法，介绍给各位同行，提供给各位同行参考。使大型精密仪器的使用效率得到更大的提高，更好地为科学研究工作提供优质服务。故障一没有二次电子图像
故障现象在做样品分析过程中突然没有二次电子图像，但是荧光屏是有扫描线存在的。分析检修首先检查二次电子探测器，二次电子探测器一共有5根电缆线接入，由JCXA-733电路图第57页查知(见图1)，B1是提供一个负1.5kV(max)的电压，B2是探测器的输出信号线接口，B3是提供一个10kV的高压，B4是提供一个在正500V与负500V之间的电压，B5是提供一个亮度的调整电压信号。检查B1接口没有负1.5kV的电压输入。检查B3接口处有高压存在，因没有测量高压的电压表，就用试电笔简单测量是否有高压存在。用试电笔检查的方法，试电笔慢慢接近测量点，不触及测量点时，就会有打火的火花，这就证明B3接口处是有高压存在的。B4接口是提供一个在正500V与负500V之间的电压，检测表明此电压是存在的，试着调整一下电压，证明此电压调整是可以改变电压值的。B5是提供一个亮度的调整电压，测量结果表明此电压是存在的，调整亮度电位器旋钮，此电压也是可以变化的。根据以上的检查结果分析，因B1接口没有测到输入的电压值，故需要对B1接口的相关电路作进一步的检查。根据JXCA-733电子探针电路图第57页可知，B1接口是由SEI单元提供电压的。继续检查SEI单元，发现此单元内的高压部分一个40V的电压值，现在的测量值为5.8V。对此点进行跟踪检查，发现是一个双刀三掷的开关损坏，有一路开关不能导通。换一个同型号开关后，试开机检查，二次电子图像恢复正常，上述故障排除。
[attach]50837[/attach]
故障二观察荧光屏不亮
故障现象开机后，观察荧光屏的二次电子图像，将荧光屏的亮度及对比度旋钮调整到正常位置，荧光屏不亮，完全没有扫描亮线的扫描。观察背散射电子像，将背散射电子像的亮度及对比度旋钮调整到正常位置，荧光屏还是不亮，没有扫描亮线的扫描。但DISPLAYBOARD单元的CONTRAST水平指示灯有亮灯的变化。
分析检修为尽快找出荧光屏不亮的原因，决定先直接测量显像管管座的相关电压，看一看这些相关的电压值是否满足显像管的工作条件。测量的数据如下：显像管12脚为接地端，1脚和12脚为显像管灯丝电压，测量值为20V，11脚和12脚的电压为48V，2脚为栅极电压，随亮度电位器和对比度电位器的调整而变化，电压的变化范围是从2~9V，10脚为加速极电压，测量值为294V。根据有关显像管的经验数据分析，加速极电压应在400V才是正常的电压值。根据JXCA-733电子探针电路图第56页可知(见图2)，为显像管提供加速极电压的单元是CRTHVUNIT部分，进一步检查CRTHVUNIT部分的电路，首先检查各相关的电容，发现电解电容C3(100μF/50V)损坏，无电容量值，发现电解电容C4(4.7μF/100V)损坏，无电容量值，发现电解电容C2(4.7μF/50V)损坏，无电容量值，发现电解电容C5(100μF/50V)损坏，电容量值变大为167μF，将这4个电容按原来的参数值，全部换新。同时，检查相关的电阻元件、二极管和三极管，未发现有损坏的元件。故障时，测量CRTHVUNIT单元的JE2端的电压值为320V，而此端的正常电压值为400V。更换电容后，通电检查此单元，测量出JE2端的电压值为360V，虽然比320V提高40V，但还是没有达到400V的正常值，显像管仍然不亮。根据JXCA-733电子探针电路图中的CRTHVUNIT单元电路原理图，分析研究认为，可以调整一下电位器VR1和电位器VR2，看一看输出端电压的变化情况。调整前，先用记号笔记下VR1和VR2的原始位置，以便如有问题时，可以恢复电位器VR1和电位器VR2到原始位置。将电位器VR1和电位器VR2配合调整，使得JE2端的电压最大值为406V，此测量值为带负载时的电压值。这时，观察荧光屏上有扫描线出现。接通二次电子像图像，二次电子图像恢复到正常状态。接通背散射电子像图像，背散射电子图像恢复到正常水平。在这次检修过程中，还观察照像显像管，照像显像管上有扫描线从上向下移动。检修完成后，又测量观察显像管的管脚电压值如下所示：显像管1脚和12脚为灯丝电压20V，11脚和12脚的电压值为50.8V，10脚和12脚的电压值为406V，2脚和12脚的电压值分为三种情况：当对比度电位器和亮度电位器都调整到最小位置时，此电压值为负0.7V;当亮度电位器调整到最小位置而对比度电位器调整到最大位置时，此电压值为负7.18V;当对比度电位器调整到最小位置而亮度电位器调整到最大位置时，此电压值为正9.7V。故障维修完成后，测量一些关键点的电压值工作是非常重要的，它给今后的维修工作提供最直接、最方便的参考数据，使今后的维修工作能更快更好地进行。
[attach]50838[/attach]
来源：《现代仪器》，转载请注明出处-仪器信息网(www.cncal.com)