电镜高压系统是电子显微镜主要组成部分之一。高压稳定性的好坏直接影响到电子显微镜的性能。高压电路十分复杂，牵连的有关部分也很广。对高压故障检修，不但要熟悉整体和各部分的结构，还需了解它们之间的关系，以及加高压的工作过程。本文将一例此故障的维修经验总结如下，以供同型号电镜使用者参考。
1故障现象
正常开机后，抽真空。当真空度达到可加高压要求时，合上镜筒开关，按下READY/OFF及加速电压选择的按钮。此时两按钮灯不亮，HV/BEAM表指针也不动，电子枪的加速电压无法接上。
2故障分析
电子显微镜电子枪的加速高压系统电路是由高压振荡电路、高压稳定电路和高压控制电路组成。高压振荡电路的作用是产生电子枪的高压和电子灯丝电压及偏压;高压稳定电路的作用则是稳定、控制高压;高压控制电路主要是起安全保护作用，当电流大于260UA时，切断高压和灯丝电源。高压系统与CPU、EVACSEQ有连锁关系(见图1~3)。
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电镜正常工作中，当达到高真空时，EVACSEQ会产生一个HVOK信号，此信号是经KBIF板送入L-KB板中的PC10光电藕合器。使PC10光电藕合器的发光二极管导通。当按下READY/OFF和加速电压选择电压按钮，瞬时产生二个脉冲信号，通过数据线在ICG1转变为保持信号。此信号从ICE2的A、B和C输入端输入，从ICE2的3、4、5、6和7五脚输出，此信号与所选电压相对应。输出信号为“L”电平，导致光电藕合器PC6、PC7和PC8中一个输入端导通而工作，从而使HV板电路所对应高压的继电器RY4、RY5、RY6、RY7和RY8中的一个闭合接通，控制高压，产生所选的加速电压。另外，其中ICG1的16脚输出“H”电平，经非门为“L”电平，从而使PC10光电藕合器工作，因此产生一个HVON信号，通过连线到HV板经RY3继电器9、10与1、2使RY7继电器闭合，给高压和灯丝电源供电，从而产生高压和灯丝电压，完成加高压过程。所述即为高压系统与CPU、EVACSEQ的连锁关系。以上表明，高压的产生不但与HV板、HV箱中的电路有关，而且还与其他板中的高压信号有关。因此，故障牵连电路范围大，许多电路故障都可能造成同类现象。
3检查与处理
根据故障现象和电路分析，进行如下检测操作：
(1)检测HVSTB、±15V、40V;(2)检测各加速高压所对应的RY4、RY4、RY5、RY6、RY7和RY8继电器(BMD-201);(3)将高压电缆杆头从油箱拔出，加高压;(4)检测RY7继电器(MY4Z-G)工作状态，发现RY7继电器无动作，发现没有HVON信号;(5)检查L-KB板的光电藕合器PC6、PC7、PC8和PC10，它们也不工作。进一步检测，发现它们正常以及电路中对应的三极管也完好;(6)根据这些光电藕合器整体都不导通，说明问题出在共同部分。因此，再进一步检测PC10输入端，结果发现无HVOK信号输入;(7)按电路查找，此信号来自EVACSEQ板。进一步查找检测，发现IC38(7438)损坏;(8)更换IC38，现象消除，仪器恢复正常工作。
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