干热灭菌器的组成一般由七个重要部分组成：
1.风机
对干热灭菌器中的气流循环影响很大，风机的风量应该可以测量，并可调整。
2.传送带(仅适用于连续法)
传送带的速度，在连续传送干热灭菌系统中是十分重要的灭菌效果影响因素。
3.加热器
它是干热灭菌设备的主要组成部分，对灭菌效果的好坏影响极大。
4.高效过滤器
在干热灭菌设备中，进风应通过高效过滤器;除去内部空气循环系统中产生的尘埃物质需要高效过滤器;防止排风倒流的污染也可装高效过滤器。
5.运行连锁控制系统
干热灭菌器中连锁控制系统设有：门连锁控制系统;压力传感器;温度传感、控制、停止传送带运行的连锁控制装置等，以保证在任何情况下出现温度低于设计要求时防止灭菌物品在低于灭菌温度的情况下通过灭菌器。
6.温度控制器及记录仪
在干热灭菌系统中，温度探测、传感、控制、记录系统是整个灭菌过程控制的基础，其控制系统必须能保证灭菌器腔室内灭菌温度可以保持在设定的灭菌温度范围内，其记录系统必须将温度探测、传感系统的温度读数准确无误地记录清楚。
7.缓冲板、风阀、气流调节器或空气档板
缓冲板或空气档板用于控制干热灭菌器的空气流量，多安装于进风或排风风管或加热器附近，用于正压控制的气流调节器可以安装排风系统中的防止倒流风污染的高效过滤器附近，通过控制排风量控制正压，也可以用气流调节器控制进风和排风风量以保持正压。