1.激励模式二氧化碳激光器是采用电极激励二氧化碳气体而产生激光，按照金属电极的安装位置可分为直流激励和射频激励。
2.激光频率激光输出分脉冲输出和连续输出，用于切割和焊接的激光主要采用脉冲输出方式，脉冲频率主要影响切割的速度和切口粗糙度，要获得高速切割，高频率是必不可少的。目前大多数厂家生产的二氧化碳激光器频率都在5000Hz以内。
3.光束发散角从严格的角度来讲，光束发散角不属于激光器部分的内容，但是因为激光器的模式对远场发散角影响很大，所以我们把它放在这里一起讨论。光束发散角对切割质量的影响体现在切口的宽度和坡度上，越小的发散角切口宽度越窄，坡度越小，因而质量越高。
4.激光模式是衡量激光质量最重要的指标之一。可分为单模，基模和多模。基模既TEM00模，它在X和Y轴上的指数均为0，所以是一个理想的圆点。采用TEM00模的激光可以获得最小的光束直径，在切割加工中因其光斑小而获得最小的切缝及更快的切割速度。而多模更是在XY方向上均为非0指数，其光束质量较差，一般只用与焊接而不用与切割。
5.激光功率包括峰值功率，能量稳定性等要素。不同功率在金属板材的切割中可切穿的厚度不同，以4KW激光器为例，它可切割20mm厚的碳钢板，或15mm不锈钢，10mm铝合金;而5KW以上的激光器可以切割25mm厚的碳钢，不锈钢可达20mm。功率的另一个指标是功率稳定性，优秀的切割质量，必须是优秀的切口贯穿始终。长期生产对激光器也是一个非常重要的考验。直流激励激光器由于电极烧蚀，导致在长期工作状态下功率衰减。另外，由于有的激光器的真空泵和涡轮泵采用润滑油进行润滑，导致润滑油污染激光谐振腔，而减短了激光器寿命。