使用平晶检定时，依次将4块厚度差为1/4螺距的平晶放入两测量面间，使两测量面与平晶接触，转动棘轮机构，并轻轻转动平晶，使两测量面出现的干涉环或干涉带数目减至最少。分别读取两测量面上的干涉条纹数，取两测量面上的干涉条纹数之和，代入公式n/2.λ,结果即为两测量面的平行度。利用平晶组中每一块平行平晶按上述程序分别进行检定，取其中最大值作为受检千分尺的两测量面平行度测量结果。
但一般检定中很少有人用平晶法进行检定，一般都是用量块来检平行度。方法是用量块的同一个面来在测量面的上下左右四个位置上分别读数，并求出差值，其中最大值即为被检千分尺的测量面平行度。