涂层测厚仪的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，X射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等等。这些方法中前五种测量方法均为有损检测，且测量手段复杂，测算结果速度慢等缺点，目前多在抽检活动中使用。
X射线和β射线法是无接触无损测量，且装置复杂昂贵，测量范围较小。同时这类测量方式带有放射源，使用者必须遵守射线防护规范。在测量厚度上X射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量，电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
随着技术的日益进步，特别是近年来计算机技术的引入，磁性法和涡流法测量的涂层测厚仪向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向迈进了一步。测量精度有了大幅度的提高，分辨率达到0.1微米，精度达到1%。它适用范围广，量程宽、操作简便且价廉，是工业和科研使用最广泛的测厚仪器。
采用无损方法既不破坏覆层也不破坏基材，检测速度快，能使大量的检测工作经济地进行，这些优点使得具有无损特性的涂层测厚仪得到广大企业的热烈追捧。