雾是指光学零件的抛光面上，呈现出"露水"似的物质，这些物质有的是油质点子构成的，称为油性雾，有的是由水珠或水与玻璃起化学反应形成堆积物构成的，称为水性雾：有的光学零件上，两种雾都有，叫做水油混合雾，一般的都以"露水"状或干的堆积物存在于玻璃表面上。油性雾通常分布在元形光学零件的边沿，并向中心伸延，有的则沿擦拭痕迹分布，油性雾的形成主要是油脂污染了玻璃表面，或是因为油脂的扩散，挥发在玻璃表面凝聚而造成的，好比擦拭光学零件所用的辅料含脂量高，或者所用的工具带有油脂，用手指直接拿取和触及光学零件等，都会引起油性雾，或者是光学仪器上所用油脂的化学不乱性不好，产生扩散或使用方法不当涂油过多，油脂扩散到光学零件上而引起油性雾，或者是因为仪表油脂挥发性很大，会产生油质蒸气而形成油性雾，还有的是用汽油清洗金工零件时，没有让汽油充分施展干净，就涂油装配。还有的用汽油稀开释尘脂涂在镜身内，跟着时间的增长和温度的变化，这些汽油及所含的其它成份，逐渐挥发至光学零件上而形成油性雾。
水性雾是因为湿润空气在温度变化下而形成，主要分布在零件的全面积上，产生原因主要是湿润气体所致，但与仪器密封机能、光学玻璃的化学不乱性，以及玻璃表面的清洁程度有关，在较高的相对湿度下，霉菌易生长，有些霉菌生长状大后，便在菌丝体附近产生分泌物，这些分泌物有的是液状的，在液状分泌物外围便形成水性雾。
无论何种原因形成的雾，因为雾滴以曲率半径极小的球形分布于光学零件表面上、使入射光线产生散射现象，除了降低仪器的有效透光率外，并使成象质量差影响观测。有的光学零件因长期起雾，被侵蚀的玻璃表面形成良多微孔，严峻的会使玻璃零件报废。
光学仪器起雾不仅在我国东南地区严峻存在，就是较干燥的地区，因为温差变化，也会起雾，它比光学仪器生霉的影响范围更大，而且更难防止。