声表面的内部结构

  Abby ·  2012-08-15 11:27  ·  31255 次点击
声表面是用具有压电效应的单晶铌酸锂(LiNb03)、钽酸锂(LiTa03)、锗酸铋(Bi12Ge02)、锆钛酸铅(PZT)及石英等材料制成的。以锆钛酸铅陶瓷应用最多。声表面内部结构如图9-13所示,先用切割工艺将压电材料制成衬底片,接着把正而研磨抛光,再在抛光面蒸上一层铝或金,然后利用光刻腐蚀技术,按设计的几何形状制出各金属电极,也就制得声表面中的输入换能器、输出换能器及屏蔽电极。
换能器由叉指形金属电极和压电衬底构成,称为叉指换能器。两个叉指换能器便构成一个带通滤波器。

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