压阻式传感器的类型与持点
仪器仪表网 · 2012-09-22 07:17 · 37507 次点击
压阻式传感器有两种类型:一类是利用半导体材料的特性制成粘贴式的应变计,做成半导体应变式传感器,其使用方法与电阻应变计类似;另一类是在半导体材料的基片上,用集成电路工艺制成扩散电阻,作为测量传感元件,亦称扩散型压阻式传感器或固态压阻式传感器。固态压阻式传感器主要用于测量压力相加速度等物理量。
压阻式传感器的优点是:①灵敏度非常高,有时传感器的输出不需放大,可直接用于测量;②分辨宰高,例如测量压力时,可测出10-20Pa的微压;③测量元件的有效面积可做得很少:帮频率响应高;④可测量低频加速度和直线加速度。其最大缺点是温度误差大,故需温反补偿或在恒温条件下使用。
尽管存在许多问题,但由于这种传感器具有独特的优点,目前,国内外都非常重视对它的研究、发展和应用,所以存在的问题正在不断地得到解决,发展非常迅速。