(1)测量精密度(简称精度)
测量精密度是指在规定条件下对被测量进行多次测量时，所得结果之间符合的程度。它表示测量结果中随机误差大小的程度，随机误差越小，测量精密度越高。
(2)测量正确度
测量正确度表示在规定条件下，测量结果中所有系统误差综合大小的程度。系统误差越小，测量正确度越高。
(3)测量准确度(又称精确度)
测量准确度表示测量结果与被测量真值之间的一致程度，它反映了测量结果中系统误差与随机误差的综合大小程度。综合误差越小，测量准确度越高。
由定义可知，精密度高正确度不一定高，反之也如此，但准确度高意味着精密度与正确度都高。
现以打靶为例说明上述概念。在图2-1(a)中，弹着点较集中，彼此间符合得好，但都偏离靶心较远，类比于精密度高而正确度低的情形，在图2-1(b)中，弹着点很分散，但没有固定的偏向，其平均位置在靶心附近，类比于正确度高而精密度低的情形;在图2-1(c)中，弹着点在靶心附近且很集中，类比于准确度高的情形;在图2-1(d)中，弹着点既分散又有较大的固定偏向，类比于精密度与正确度都不高的情形。
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