AAS法常用原子化器有三种：火焰原子化器、石墨炉原子化器、石英管(氢化物)原子化器。
火焰原子化器多采用预混型，由雾化器、雾化室(预混合室)和燃烧器(头)构成。燃烧头有两种：空气乙炔燃烧头(0.5mmX100mm单缝燃烧头)和一氧化二氮燃烧头(0.5mmX50mm单缝燃烧头)，一般采用钛或钛钢制成。
石墨炉原子化器目前较普遍采用Massam型石墨炉(图2-12)。
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石墨炉的核心部件是一个长30-50mm，外径为5-6mm，内径3-5mm的石墨管，壁管中间部分有一个用于注入试样溶液的直径为2mm的小孔，石墨管两端安装在连接电源的石墨锥体上。为了防止石墨管在高温下燃烧，其外侧设置了一个惰性气氛保护罩，保护罩内有惰性气体流过。这一路保护气体为外气。另有一路气体从石墨管两端进入其中，从中间的小孔逸出。这一路气流称为内气或载气。炉体两端装有石英窗，光束透过石英窗从石墨管内通过。炉体的最外层是一个水冷套，以降低电接点的温度和炉体的热辐射。这些属于纵向加热HGA。近年来有横向加热HGA商品。
氢化物原子化器又称化学原子化器，由反应器(发生器)和吸收池两部分组成，在酸性环境下待测元素在反应器中被KBH4或NaBH4还原成氢化物，通过惰性气体(或)气体载气，导入吸收池，用AAS测定。这种原子化器适用于碲、锡、硒、锑、铅、锗、铋、砷等元素进行测定。